飛秒激光刻蝕中壓電納米掃描臺(tái)的應(yīng)用！
什么是飛秒激光
飛秒激光的特點(diǎn)
激光刻蝕原理與典型應(yīng)用
1
基本原理
2
技術(shù)特征介紹
3
典型應(yīng)用
芯明天P12A壓電掃描臺(tái)
應(yīng)用于飛秒激光刻蝕
飛秒激光刻蝕通過精確控制激光的能量、脈寬、掃描速度等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬、玻璃等材質(zhì)表面的精密加工和刻蝕。相比于傳統(tǒng)的機(jī)械加工和化學(xué)腐蝕等加工方法，飛秒激光刻蝕具有更高的加工精度和速度，能夠?qū)崿F(xiàn)更精細(xì)的圖案和更復(fù)雜的結(jié)構(gòu)的加工。同時(shí)，由于激光加工為非接觸式加工，可以避免機(jī)械應(yīng)力對(duì)材料的影響，降低了破損和誤差的可能性。
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | P12A.XYZ100 |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | XYZ |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 3 路驅(qū)動(dòng) 3 路傳感 |
| 標(biāo)稱行程范圍 （0~120V） | 80μm/軸 |
| 傳感器類型 | SGS |
| 通孔尺寸 | 45×45mm^2 |
| 閉 / 開環(huán)分辨率 | 3nm/1nm |
| 閉環(huán)線性度 | 0.15%F.S. |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1%F.S. |
| 俯仰 / 偏航 / 滾動(dòng) | <20μrad |
| 推 / 拉力 | 20N/4N |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm |
| 空載諧振頻率 | X200Hz/Y150Hz/Z120Hz |
| 閉 / 開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 30ms/0.8ms |
| 承載能力 | 0.5kg |
| 靜電容量 | 3.6μF/軸 |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 |
| 重量 | 350g |
| 型號(hào) | P12A.XYZ200 |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | XYZ |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 3 路驅(qū)動(dòng) 3 路傳感 |
| 標(biāo)稱行程范圍 （0~120V） | 160/軸 |
| 行程范圍（0~150V） | 200/軸 |
| 傳感器類型 | SGS |
| 閉 / 開環(huán)分辨率 | 5.5nm/2nm |
| 閉環(huán)線性度 | 0.5%F.S. |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.4%F.S. |
| 空載諧振頻率 | X150Hz/Y130Hz/Z90Hz |
| 承載能力 | 0.3kg |
| 靜電容量 | 7.2μF/ 軸 |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 |
配套控制器
17051647888
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